Совместная лаборатория НИИЯФ МГУ, Физического Факультета МГУ и ПАО «ТЕНЗОР» (приборного завода).
Ионно-пучковыми методиками модификации и анализа поверхности и тонких пленок, наноразмерных материалов.
Зачем они нужны?
Как исследовать поверхности? Одни являются разрушающими, а другие имеют недостаточное разрешение распределения элементов по глубине или малую чувствительность.
Ионно-пучковые методики лишены этих недостатков и позволяют:
- понять элементный состав покрытий и модифицированных твердых тел
- изучить профили распределения по глубине примесных или имплантированных атомов, определяют структуры и толщины слоев в многослойных покрытиях
- процессы взаимодиффузии в этих слоях и наблюдают результаты процессов дефектообразования под различными воздействиями.